华海清科请求金属膜厚度丈量相关专利进步金属膜厚度查验测验精度发布时间：2025-03-18 |   作者: 案例展示

　　金融界2024年12月21日音讯，国家知识产权局信息数据显现，华海清科股份有限公司请求一项名为“金属膜厚度丈量办法、设备、设备、抛光办法和存储介质”的专利，揭露号 CN 119153351 A，请求日期为2024年11月。

　　专利摘要显现，本请求揭露金属膜厚度丈量办法、设备、设备、抛光办法和存储介质，金属膜厚度丈量办法有：经过电涡流传感器对晶圆片上金属膜的厚度进行细心的检测，取得电涡流传感器输出的量测信号；获取量测温度；依据量测信号和基值信号，取得量测厚度值；依据量测温度和基值温度，取得厚度补偿值；依据量测厚度值和厚度补偿值，确认金属膜的厚度。本请求经过查验测验晶圆片上金属膜的厚度时的量测温度及基值温度，确认对电涡流传感器查验测验取得的量测信号进行补偿的厚度补偿值，可以将电涡流传感器遭到工作环境和温度影响在很大程度上消除，从而进步了金属膜厚度查验测验的精度。

　　特别声明：以上内容(如有图片或视频亦包含在内)为自媒体渠道“网易号”用户上传并发布，本渠道仅供给信息存储服务。

　　佛山电视台小强热线名人质悉数处决？俾路支解放装备如是声称；与巴军方说法收支较大

　　2-2 两度抢先被追平 名帅吞羞耻纪录 13亿豪门6轮2胜落后第一22分

　　啄木鸟接连两年被3·15曝光，渠道抽维修费4成是乱收费重要原因，姚劲波持股超16%

　　高三学生拍照千人大合影，校长现场“喊话”高考生，高三学生燃爆高考斗志！