【48812】敏芯股份获得压力传感器及其制备办法专利进步压力传感器的灵敏度一致性和线性度发布时间：2024-06-04 |   作者: 案例展示

  （原标题：敏芯股份获得压力传感器及其制备办法专利，进步压力传感器的灵敏度一致性和线日音讯，据国家知识产权局公告，姑苏敏芯微电子技术股份有限公司获得一项名为“压力传感器及其制备办法”，公开号CN114427930B，专利申请日期为2022年10月。

  专利摘要显现，本发明供给了一种压力传感器及其制备办法，所述压力传感器包含衬底层；榜首外延层，设置在所述衬底层的上方；内部腔室，设置在所述衬底层上方，且其顶端地点高度不高于所述榜首外延层顶端地点高度；第二外延层，设置在所述内部腔室上方；岛状结构，设置在所述衬底层内部中心区域且独立于所述衬底层；连通深槽，设置在所述岛状结构与所述衬底层之间，用于将所述内部腔室与外部气体衔接。本发明的压力传感器能够有显着效果地进步压力传感器的灵敏度一致性和线性度，进步了压力传感器的功能。

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