敏芯股份取得发明专利授权：“一种压力传感器及其制作办法”发布时间：2024-12-26 |   作者: 爱游戏网页版注册

　　证券之星音讯，依据天眼查APP多个方面数据显现敏芯股份（688286）新取得一项发明专利授权，专利名为“一种压力传感器及其制作办法”，专利请求号为CN8.9，授权日为2024年11月15日。

　　专利摘要：本发明的公开了一种压力传感器及其制作办法，其间制作办法有：在衬底的一侧标明发生重掺杂区域，在重掺杂区域刻蚀多个孔，相邻的孔之间具有柱状凸部，在柱状凸部和重掺杂区域之间构成空腔，在重掺杂区域地点的衬底的一侧外表制作外延结构，在外延结构上制作榜首环槽并填充榜首环槽，制作绝缘结构，制作电衔接结构。坐落榜首环槽内的外延结构构成压力传感器的可动极板，坐落重掺杂区域中且与可动极板相对的衬底构成压力传感器的固定极板。本请求经过在衬底的一侧外表制作重掺杂区域，并在重掺杂区域刻蚀多个孔，相较于使用献身层工艺构成可变电容和使用键合工艺制作可变电容，本请求工艺简略，且本钱较低。

　　本年以来敏芯股份新取得专利授权52个，较去年同期减少了20%。结合公司2024年中报财务数据，本年上半年公司在研制方面投入了3922.75万元，同比增4.05%。

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