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近日，江苏省举行了全省科技大会暨科技奖励大会，公布了2023年度江苏省科学技术奖。由敏芯股份、东南大学及中国电子科技集团三方合作完成的“高性能谐振式硅基MEMS惯性传感器关键技术及应用”项目成功摘得省科学技术三等奖。这一奖项不仅是对科学技术创新的高度认可，也为MEMS（微电机械系统）技术的未来发展奠定了基础。
MEMS传感器因其体积小、功耗低、制造成本低等优点，大范围的应用于智能设备中。随国家“十三五”规划制造强国战略以及“十四五”规划的实施，MEMS传感器作为核心技术在推动数字化的经济发展方面显得很重要。高性能谐振式硅基MEMS惯性传感器的成功研发，标志着该技术在惯性测量领域的又一重要突破。
该传感器采用谐振式工作原理，通过硅基材料的高精度加工技术，实现了对物体运动状态的精确感知与测量。这种创新在无人机、电动汽车、智能机器人等领域展现出广阔的应用前景，尤其是在需要高精度导航与姿态控制的场景中。
本项目的关键技术突破包括高性能MEMS惯性传感器的结构设计、多回路全闭环式低噪声测控电路、传感器的先进封装技术和惯性测量误差的在线自补偿技术。这些技术的集成与自主研制不仅提升了传感器的整体性能，同时也降低了生产所带来的成本，使得该产品在市场上的竞争力进一步增强。
敏芯股份表示，未来将继续加强创新战略，向高精度、集成化及多领域发展，加大科研投入，强化技术壁垒，努力攻克关键难题，以提供更多高性能的传感器产品。此举无疑将推动整个行业的技术进步，也为相关应用领域提供更新的解决方案。
随着人工智能的持续不断的发展，AI技术在MEMS传感器中的应用前景也引人关注。通过集成先进的算法和数据处理技术，未来的MEMS传感器不仅仅可以实时反馈运动状态，还能进行更复杂的数据分析与预测，这将大幅度的提高智能设备的自主决策能力与功能。
在数字经济加快速度进行发展的今天，MEMS惯性传感器作为“卡脖子”领域的核心技术，代表着国内在高科技领域竞争力的提升。此次江苏省科学技术三等奖的获奖，是对团队努力与创新成果的认可，同时也为科技工作人员们注入了新的动力，鼓励他们持续探索未知领域，推动技术与社会的进步。
整体来看，MEMS技术的突破与应用将有望加速各类智能设备的普及与功能拓展，推动数字化的经济向更高层次发展。对于醉心于自动化、智能化的未来，MEMS传感器无疑是不可或缺的重要组成部分。
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