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薄膜压力传感器依据应变原理作业,通过丈量薄膜的形变量来核算压力值。当薄膜遭到外部压力作用时,会产生形变,形变量的巨细与压力成正比。通过丈量这种形变量,可以核算出相应的压力值。线性差错是描绘传感器输出与理论输出之间的差错。它是传感器在整个量程内的最大差错值与满量程输出的百分比表明。核算公式如下:线性差错 = (实践输出最大值 - 理论输出最大值) / 理论输出最大值 × 100%其间,实践输出最大值是指在整个量程内,传感器实践输出的最大值;理论输出最大值是依据传感器规格书或规划参数得出的理论输出值。非线性差错 = 根号下{(x轴差错的平方 + y轴差错的平方) / 2} / 量程输出其间,x轴差错和y轴差错别离表明传感器实践输出在x轴和y轴方向上的差错。重复性差错描绘了相同条件下,同一输入引起的传感器屡次输出之间的最大差错。核算公式如下:迟滞差错描绘了传感器在相同压力输入下,正向和反向输出之间的最大差错。核算公式如下:其间,正向输出是指传感器在压力增大时的输出值;反向输出是指传感器在压力减小时的输出值。温度差错是因为气温改变引起的传感器差错。它可以终究靠在恒温条件下对传感器进行校准来减小。假如无法消除温度影响,可以终究靠核算得出温度差错的规模。1. 选用高精度资料和制作工艺,减小初始差错和线. 在运用的过程中进行定时校准,以减小因磨损、老化等要素引起的差错。5. 在规划阶段进行仿真剖析和试验验证,优化传感器结构和参数,进步其精度和稳定性。
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